1

炉型

卧式

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2

控制方式

PLC

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3

抽气机组

分子泵+机械泵

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4

电源要求

3相 380/220V 50Hz

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5

总功率

32

kw

6

总体尺寸

深1500 x宽2100 x 高2200                               

mm

7

真空度

10E-4

Pa

8

使用材质

炉体及法兰为304L材料

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加热器为钼镧合金

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隔热屏为钼镧合金加不锈钢

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